D I E   U N B E K A N N T E N   C H A M P I O N S   I I

Revolutionäre in der Halbleiterwelt

Der Villacher 110-Mann-Betrieb SEZ hat sich in der Halbleiterbranche zu einer Weltsensation gemausert und peilt 1997 eine Milliarde Jahresumsatz und den Börsegang an.

Es begab sich hoch oben hinterm Dobratsch, in der Kärntner Bergwerksgemeinde Bleiberg. In dem kleinen Dorf war ein Zirkuszelt aufgebaut worden, und das Volk harrte der Belustigungen des kommenden Wochenendes. Die Erwartungen wurden enttäuscht: Man gab kein Artistenprogramm, sondern eine Sondervorstellung für eine angereiste IBM-Delegation. Die Herrschaften suchten dort weder Zerstreuung noch Höhenluft, sondern kamen zur Abnahme einer High-Tech-Maschine, die Kärntner Techniker des örtlichen Firmenwinzlings SEZ ("Semiconductor Equipment und Zubehör") für sie gebaut hatten. "Damals waren wir eine richtige Garagenfirma", erzählt Egon Putzi, einer der beiden SEZ-Geschäftsführer und Autor der findigen Aktion, "und die Sondermaschine hätte in unserem engen Gebäude nicht aufgebaut werden können."

Vom Bankenschreck zum Musterknaben. Die Zeit der Improvisationen war trotz des glücklich abgeschlossenen Geschäfts mit IBM noch lange nicht vorbei. Denn zu allererst lernten die Jungunternehmer die Knausrigkeit der regionalen Kreditinstitute kennen. Bevor es ans Prosperieren ging, führte Egon Putzi, mit seiner lebhaften Art der Mann fürs Äußere, einen jahrelangen Kampf ums Überleben: "Wir haben uns immer von Auftrag zu Auftrag gehantelt." Hatte der damals 27jährige Ex-Mitarbeiter des steirischen Chip-Herstellers AMS 1986 mit "für einen Tag geliehenen" 250.000 Schilling eine schwindsüchtige GesmbH gegründet, schnorrten sich die Eigenkapitallosen auch die nächsten Jahre nach dem Motto durch "Wenn ich keinen Kredit krieg', geh' ich morgen in Konkurs!". Putzi grinsend: "Wir befanden uns in einer ständigen Finanzkrise, und die Banken hatten kein Gefühl für unsere Technologie." Und dankbar: "Ohne den persönlichen Einsatz eines wohlwollenden Bankers wären wir eingegangen."
Inzwischen waren die Zelt- und Garagenmieter hinunter nach Villach übersiedelt, wo sie sich in einem eigenen Firmengebäude immerhin zum regionalen Star mit internationaler Kundschaft entwickelten. Denn diese, wiewohl als Halbleiterbranche höchst sophisticated, zeigte sich vom Produkt der SEZ hell begeistert: eine vollautomatische Naßprozeßanlage, genannt "Spin Etcher", die in der Chipfertigung eingesetzt wird und mit ihrer Technologie so überlegen ist, daß sie keine direkte Konkurrenz kennt. Diese Durchbruchs-Innovation und ihre ständige Verfeinerung, ersonnen vom Vollbluttechniker und heutigen zweiten Geschäftsführer Franz Sumnitsch, bildete das eigentliche Fundament für das Prosperieren von SEZ.
Für 1995 legte SEZ die nach eigenen Aussagen "beste Bilanz Österreichs": 50 Millionen Schilling Gewinn bei gut 300 Millionen Umsatz. Für 1997 wird eine – in dieser Boombranche durchaus realistische – Umsatzmilliarde angepeilt. Putzi lässig: "Innerhalb eines Jahres haben wir uns eine Eigenkapitalquote von 40 Prozent angelegt. Jetzt rennen uns die Banken die Tür ein und wollen, daß wir was mit ihnen machen."
Nicht nur die Banken lieben heute SEZ; deren mehr als 100 Millionen Schilling Einkaufsvolumen, das sie 1995 in die Krisenregion zu Füßen des Mittagskogels pumpten, erfreut Tischler, Kunststoffverarbeiter, Filtertechnik- und Elektronikbetriebe und ganz besonders die örtliche Hotellerie, bei der sie allein im letzten Jahr 1.000 Nächtigungen buchte. Landespolitiker kamen gern zur Festrede, als im Sommer die hundertste Maschine ausrollte. Und nicht zuletzt saugt der Betrieb Handwerker und HTL-Ingenieure auf, denen es bei der kleinen Weltfirma schon passieren kann, für zwei Wochen allein nach Irland entsandt zu werden, um dort nicht nur technischen Feldservice beim Kunden zu leisten, sondern diesen auch des Abends im Pub zu unterhalten.
Der Weg zum Status eines Starunternehmens, muß man Egon Putzi glauben, war also trotz der gegenwärtigen Euphorie alles andere als eine gemähte Wiese. Was waren jene Faktoren, die zum Triumph der SEZ geführt haben? Ein Mitarbeiter von Siemens Deutschland, einem der größten SEZ-Kunden: "Die führen Punkt für Punkt vor, was Unternehmen auszeichnet, die um jeden Preis Marktführer werden wollen."

Die Innovation in der Nische. Da ist einmal das Produkt, dessen unermüdliche Verbesserung und der genau definierte enge Markt. Der "Spin Etcher" (spin: drehen, etch: ätzen) ist so neu, noch nicht dagewesen, daß er sich einen eigenen Markt kreiert hat: die technisch kleine, aber umsatzmäßig dollarmilliardenschwere Nische des Naßätzens einzelner Siliziumscheiben (Wafer) in der etwas größeren Marktnische des Ätzbereichs in der Halbleiterindustrie (siehe Kasten). "Wir leisten dort Erziehungsarbeit und helfen diesem Bereich zu wachsen." Als 100prozentiger Technologieführer, notabene.
Natürlich war es nicht so, daß der firmeneigene Düsentrieb Franz Sumnitsch eines Tages beschloß, etwas Tolles zu erfinden. Vielmehr ärgerte sich der damalige AMS-Techniker über die vorsintflutliche, weil händische und fehleranfällige Methode, Siliziumscheiben auf der Vorderseite mit Folie zu schützen, um die rückseitigen Schichten in einzelnen Säurebecken, sogenannten "Naßätzbecken", abzuätzen.
Er meckerte so lange, bis er seinen eigenen Prototypen entwickelte. Sein neues SEZ-Verfahren hatte den entscheidenden Vorteil, daß die Rückseite ohne besonderen Schutz der auf der Vorderseite liegenden Bauelemente (Mikrochips) behandelt werden konnte.
Die elegante Methode hat einen verschmerzbaren Nachteil: "Spin Etcher" werden zur Zeit vorwiegend als Ersatzmaschinen gekauft, da viele Halbleiterhersteller vor lauter Auslastung gar keine Zeit haben, auf die neue Technologie umzustellen. SEZ liefert bereits an die Top Drei in Europa (Philips, Siemens, SGS Thomson) und bedient fünf der Top Acht in der Welt (Toshiba, Motorola, Hitachi, Samsung, Texas Instruments, IBM), während bei Intel eine Evaluierung läuft.
Der auch vom Investmenthaus Goldman & Sachs bescheinigte Vorteil: Alle neuen Fertigungen werden sich künftig Equipment von SEZ zulegen. Denn die Chiphersteller müssen jedes Jahr ihre Preise um 20 Prozent senken – und wer bei diesem Preisverfall mithalten will, schafft das nur mit entsprechenden Verbesserungen bei den Kosten, der Produktivität und der Ausbeute. In der Halbleiterei bedeutet das größere Siliziumscheiben, die mehr Chips in einem Arbeitsschritt abwerfen. Ist heute eine Acht-Zoll-Scheibe der Stand der Technik, wird es künftig ein Durchmesser von zwölf Zoll sein, der 2,25 mal soviel Fläche hergibt.
Da zieht SEZ voll mit, um seinen technologischen Vorsprung zu halten. "Wir schicken unsere Leute zu unseren Kunden, um Technologie und Bedürfnisse auszuloten", heißt es dazu. Und: "Wir wollen keinen Verdrängungswettbewerb, sondern einen eigenen Markt." Prompt versuchte sich schon die Konkurrenz – wenn auch erfolglos: "Es gab da mal einen Ami, der den Kampf aufnehmen wollte, und einen Japaner. Aber den haben wir sogar im eigenen Land, bei Toshiba, ausgebootet."
Demgegenüber gibt es bei SEZ ein – typisches – strategisches Nein zu eitlen Nabelbeschauungen wie ISO 9000: "Für diese Bürokratie haben wir keine Zeit. Außerdem sind wir der Meinung, daß eine solche Zertifizierung für uns in Zukunft keine entscheidende Rolle spielen wird."

Keine Angst vor der großen Welt. "Wenn kleine Unternehmen eine Marktnische wie ein richtiger Champion bedienen wollen, müssen sie das weltweit tun", gibt Putzi ein weiteres seiner Credos zum besten. Die Vision "Ausland" bedeute noch immer für viele Villacher oder Bleiberger "Einkaufen in Udine"; umso mehr zeigen sich die SEZ-Leute als Trendsetter: "Unser Produkt muß ins Ausland." Und da "Austria" als Wirtschaftsstandort keine Referenzen habe, legt Putzi Wert auf Top-Repräsentation und Überzeugungskraft durch technischen Support.
Als es hieß, der US- oder der taiwanesische Markt sei "viel zu riskant", verhalf die Parole "'Geht nicht' geht nicht" zu angemessener Verbissenheit, um gegen schlafende Bürokratien anzukämpfen. Die Kärntner Dialektsprecher anerkennen keine Hemmschwellen, wenn es gilt, sich mit Tochtergesellschaften in Großbritannien, Amerika und Taiwan niederzupflanzen. "In den USA haben wir es anfangs mit Amerikanern versucht, aber wir wollten auch unseren eigenen Geist reinbringen. Außerdem sollen unsere Leute zwischen den verschiedenen Ländern austauschbar sein. Natürlich wollen wir auf andere Kulturen eingehen, aber ebenso wollen wir den eigenen Stempel auf der Firma lassen." Nur in der ersten Phase bedient man sich lokaler Repräsentanten, die die Vertretung nach einigen Jahren wieder zurückgeben.
Das kongeniale Geschäftsführerduo teilte sich unternehmungslustig die Erdkugel auf; der kommunikative Putzi fliegt ins Anglophone, der eher ruhige Sumnitsch deckt den Fernen Osten ab, wo er 1995 einen äußerst bemerkenswerten Coup landete: In Japan, dem schwierigsten Markt für "Gaijin" (japanisch für "Ausländer"), brachte er SEZ zu einem Drittel in ein Joint Venture mit der Halbleiter-Tochter des Sumitomo-Konzerns ein. Seine Erfahrungen mit den Japanern: "Mit der Geschäftsmentalität des Schweigens muß man erst zurechtkommen: Da sitzen sie stundenlang, nicken und brummen vor sich hin, und wenn Du heimfährst, hast Du keine Ahnung, was sie von Dir halten. Aber irgendwann kommt der Auftrag."
Auch zuhause am Villacher Standort schallt es international, nicht nur, wenn Besuch aus Seoul oder Phoenix, Arizona (wo die US-Tochterfirma der SEZ beheimatet ist) angesagt ist. Im Werk am Draubodenweg halten sich ständig Trainees und Mitarbeiter aus den Kundenbetrieben auf. Wenn ein Schotte Seite an Seite mit einem Kärntner, begleitet von Ö3-Gedudel, Schaltungen montiert, wirke das zwar nicht spektakulär, könne jedoch um einiges mehr zur Verständigung und Kundenbindung beitragen als ein Business-Lunch im Hongkonger Marriott, sind die Kärntner überzeugt.
Die allgemeine Duzerei quer durch Besenkammer und Chefetage wurde schon öfter (von Außenstehenden) kritisiert, konnte die von sämtlichen Beschäftigten erarbeiteten und unterschriebenen Firmengrundsätze jedoch nicht erodieren. Egon Putzi, in seinem Jeanshemd für Außenstehende unmöglich als Chef zu erkennen, erklärt die SEZ-Firmenkultur so: "Ich brauche mich bloß zu fragen: Unter welchen Bedingungen würde ich gern in einer Firma arbeiten? Daraus ergibt sich automatisch die Devise: Behandle andere so, wie du selbst gern behandelt werden möchtest."
Nur so würde ein Klima geschaffen, in dem immer wieder neue Ideen sprießen: "Wir setzen hierzulande viel zuwenig auf Hausverstand und verbohren uns ins Tagesgeschäft", meint der feurige Firmenkommunikator und Bankenbeschwörer a.D. Egon Putzi. "Ich sage den Leuten immer, daß jeden Tag Zeit sein muß, die Haxen auf den Tisch zu legen und sich Gedanken zu machen, was man eigentlich tut." Er fördert die Treibhausatmosphäre, in der verschiedene Talente in oft überraschende Richtungen wuchern: "Man darf keine Angst haben, daß andere mehr wissen als man selbst, und man darf Aufstrebende nicht wie die Champignons köpfen. Wen soll ich denn managen, wenn ich keine Leute zum Managen hab?"
So mancher neu dazugekommene Akademiker rang mit dieser freidenkerischen Art, "weil wir hier nicht nach Schulbuch arbeiten", meint der Marketingleiter Kurt Lackenbucher, seines Zeichens Anglist und treuer SEZ-Wegbegleiter der ersten Stunde. "Was nach Chaotensystem klingt, quetscht tatsächlich die Power aus uns heraus". Die hohe Identifikation mit dem familienähnlichen Betrieb ermöglichte etwa die Verdoppelung der Produktion in den Schicksalsjahren 1994 und 1995.
Weiterbildung wird in allen Bereichen betrieben. Nicht nur im eigenen Haus läuft ein ganzjähriger Englisch-Kurs, auch wer sich gerade bei SEZ America in Phoenix aufhält, kann dort weiterpauken oder sein Technologie-Wissen ausbauen. Und so wird aus so manchem geschickten Dreher aus dem Lavanttal ein Weltreisender in Sachen High-Tech.

Going public. Freilich wird das freakige Image in Zukunft ein wenig korrigiert werden müssen: Im Frühjahr 1997 oder noch früher will der Senkrechtstarter an die Börse, und da muß der "Hidden Champion" SEZ aus seinem Versteck hervorkommen. Deshalb muß sich die SEZ auch einer Öffentlichkeit präsentieren, die mit Naßätzen im besonderen und mit Chipproduktion im allgemeinen nichts am Hut hat. Also weg vom Bild der unberechenbaren High-Tech-Apostel und hin zu einem breiteren, eher seriösen Profil.
Anspruchsvolles regionales Mäzenatentum in Bildung und Kunst scheint Putzi und Sumnitsch, selbst Abkömmlinge einer erdigen Handwerkstradition, dafür der rechte Weg. Außerdem schwebt den beiden Mäzenen in spe als langfristige Perspektive ein kleiner privater Eingriff in die Arbeitsmarktpolitik vor: Von ihnen als würdig empfundene Kleinfirmen sollen dereinst von SEZ unter die Fittiche genommen und gefördert werden. Nicht nur wegen der positiven Wirkung aufs Image ihres Unternehmens: Die beiden haben die bitteren Zeiten ihrer eigenen Existenzgründung nicht vergessen.

Cornelia Wenny

Wem gehört SEZ?	SEZ in Zahlen
Egon Putzi 23,1% Franz Sumnitsch 24,0% ETH (ein Venture-Unternehmen in München) 36,0% Christa Putzi 3,4% INNOVACOM (eine Tochter von France Télécom) 5,6% Atlas Venture (eine holländische Venture Gesellschaft) 7,9%	Gewinn 1995 50 Mio. Umsatz 1995 310 Mio. Planumsatz 1996 500 Mio. Planumsatz 1997 1 Mrd. Beschäftigte 160 (weltweit) Exportquote 99%
Tochtergesellschaften:	Hauptkunden:
SEZ America Inc. in Phoenix, Arizona; SEZ UK in Greenock, Schottland; Smiele SEZ in Tokyo, Japan (zu einem Drittel mit Sumitomo; Joint Venture)	Toshiba, Motorola, Philips, Siemens, Hitachi, Samsung, Texas Instruments, IBM, SGS Thomson

Revolution in der Halbleiterbranche

Der "Spin Etcher", mit dem die SEZ jährlich ihre Umsätze verdoppelt, bringt der boomenden Chip-Branche erhebliche Vorteile

Im Verlauf der Chip-Herstellung werden auf einer Siliziumscheibe (einem sogenannten Wafer, aus dem später die einzelnen Chips hergestellt werden) Schichten von Oxyd, Nitrid, Polysilizium oder Metall abgelegt. Diese Filme sind einige Nanometer dick und müssen von der Rückseite des Wafers aus verschiedenen Gründen wieder entfernt werden.
Traditionell erfolgt die Entfernung dieser unerwünschten Filme durch Ätzen in einem Becken, einer sogenannten "Naßätzbank", wobei für jeden Film eine eigene Säuremischung notwendig ist. Dabei wird die Vorderseite der einzelnen Wafer, die die hochempfindlichen Bauelemente enthält, mit einer Folie bedeckt, um sie vor Beschädigungen zu schützen. Anschließend werden sie in ein Säurebad getaucht, um den Film zu entfernen. Die Nachteile dieser Prozedur: Sie ist nicht automatisiert, schwer kontrollierbar und die Anzahl von Arbeitsgängen, besonders bei größeren Scheibendurchmessern, ist groß.
Beim "Spin Etcher" der SEZ läuft dieser Vorgang vollkommen mikroprozessorgesteuert ab: Die Wafer werden einzeln über ein Beschickungssystem auf den sogenannten "Wafer Chuck", eine patentierte Scheibenaufnahmevorrichtung, transportiert. Der Chuck ermöglicht eine berührungslose Aufnahme des Wafers, indem Stickstoff auf seine Unterseite geblasen wird und er auf diesem Stickstoffpolster schwebt. Der komplizierte Schutz der empfindlichen Vorderseite entfällt.
Nun kann auf der Rückseite in einem Arbeitsgang Schicht für Schicht abgeätzt werden: Der Chuck hebt und senkt sich auf vier Ebenen, wobei in jeder "Etage" eine bestimmte Säure zur Anwendung kommt.
Ein "Spin Etcher" kostet zwischen fünf und zehn Millionen Schilling und gehört laut Kundenaussagen zu den zuverlässigsten Produkten in der Halbleiterfertigung.